ChainCatcher 消息，光刻设备制造商 ASML 将对供应韩国的更换用设备零部件价格统一上调 10%，对象包括极紫外（EUV）与深紫外（DUV）光刻设备的全部零部件，自明年 1 月供货起适用。据 10 日业界消息，ASML 总部上月初通过韩国法人向三星电子与 SK 海力士提出该方案，经双方采购部门协商后确定；定期采购的消耗性零部件，以及因故障或性能下降而更换的主要部件均纳入涨价范围。

光刻设备包含光学系统、光源、精密驱动装置等大量部件，持续运转成本将上升。ASML 以往多在原材料大涨或特定材料采购困难时单独调整相关零部件价格，统一上调 10% 属罕见。一位半导体业界人士称，零部件构成要素整体涨价，同时也有客户盈利后 ASML 希望多拿利润的因素。ASML 单独统计已安装设备的服务、零部件与升级收入，去年该收入为 81.93 亿欧元，占整体收入 326.67 亿欧元的 25%，公司预计今年该收入增长超过 30%。

报道称，零部件之后，新下单的 ASML 设备价格也很可能上涨，公司正与主要客户讨论设备涨价。美国 The Information 今年 7 月报道，ASML 曾通知中国半导体企业等将 DUV 设备价格上调 10%，部分客户已接受，最大客户台积电据称反对设备涨价。