路透旧金山7月14日 - 光刻机制造商ASML(阿斯麦/艾司摩尔)周二表示,英特尔 INTC.O已决定使用ASML的高端设备来生产其部分旗舰级Panther Lake笔记本电脑芯片,此举将有助于英特尔更有效地积累该设备的应用经验。
ASML表示,英特尔从2024年开始进行试验,并已开始使用ASML的下一代高数值孔径(High NA)极紫外(EUV)光刻机。该光刻机可将电路图案转印到晶圆上,以帮助生产其部分Panther Lake处理器。
高数值孔径光刻设备造价约为4亿美元,是标准EUV光刻机的两倍。此外,将该设备应用于生产流程在技术上也极具挑战性。
英特尔正在使用高数值孔径设备对芯片的特定层进行测试,这将有助于英特尔和ASML收集数据并优化设备。
英特尔对该声明不予置评。
该公司采用其18A制造工艺生产Panther Lake芯片,并已在使用ASML的标准EUV光刻机进行生产。